超高纯净钢-半导体制造装置-日本大同CLEANSTAR

超高纯净钢

悦廷特种合金（上海）有限公司自成立以来一直专注于特种钢供应链的集约化栽培，在中国拥有大型现货供应库，与国内外大型钢厂和供应商保持良好的合作关系，拥有全方位、多渠道的采购资源。

核心理念：为气体输送应用提供优质的半导体材料和各种进口特种合金。

提供高纯不锈钢母材，主要涉及超纯半导体材料，采用国际公认ISO质量管理程序，注重产品质量和细节，严格控制尺寸和公差，确保生产过程中各环节的质量，广泛应用于半导体制造设备、超高真空设备、医疗设备、生物设备等需要清洁的设备部件。

纯度**

采用优良的熔炼技术，减少钢中的非金属夹杂物和气体成分。

通过降低碳含量和非金属夹杂物，使耐腐蚀性优于一般耐腐蚀性SUS316L。

表面粗糙度、缺陷数、表面组成(CR/FE 比率)可以满足UHP等级要求。

通过降低锰含量，可以减少锰的焊接烟尘，降低焊接热影响区的耐腐蚀性。

超高纯净钢的生产环境必须超清洁，无杂质，悦廷合金提供特殊的表面，以满足客户生产中更大化的纯度要求。

1.超高纯（UHP）——电解抛光(更**别)

2.高纯（HP）——明亮处理或阳极清洁

3.纯净（P）——明亮处理或阳极清洁

悦廷合金委托常熟和江阴等国内一线制管厂，对CLEANSTAR母材加工成BA管、EP管道等半导体制造装置：

热加工 Hot Working：钢坯 Billet——原料检验 Inspection——坯料准备 Billet Machining——加热 Heating——热挤压 Hot Extrusion/热穿孔 Hot Piercing——荒管检验 Hollow Bar Inspection

冷加工(循环)Cold Working：冷轧 Cold Pilgering/冷拔 Cold drawn——去油 Degreasing——热处理 Heat Treatment——矫直 Straightening——酸洗 Pickling

检验包装 Inspection and Packing：无损检验 Non Destructive Testing/理化试验 Physical and Chemical Testing——水压试验 Hydrostatic Test——更终检验 Final Inspection——包装发货 Packing and Shipping

以高质量、高要求、高服务、创新解决方案，为半导体、TFT/LCD提供更**别的不锈钢管组件和创新的管道产品，以满足客户对超高纯度气体的需求。

材料入库后，质检人员通过对壁厚、真实圆度、粗糙度、表面形状和化学成分的检查，从明亮退火到电解抛光，经过层层测试，满足纯度至完美清洁度和极限尺寸精度的公差要求。

为达到更高的洁净度，采用UHP电解抛光，母材符合要求SEMI F20标准的UHP等级。

*SEMI F20 UHP标准：

铬铁比表面(Cr/Fe)大于1.5；

铬铁氧化铬铁厚度(Oxide Layer)大于20。

（SEMI：国际半导体设备及材料协会)

1.选择合适的范围，以下元素控制在一定的数据范围内：

C 抗裂性更高，并保持不受温度影响的延展性；

Si 提高钢的弹性极限、屈服点和抗拉强度，结合硅、钼、铬，提高耐腐蚀性和抗氧化性；

Mn 韧性足，强度和硬度高，提高钢淬火性能，提高钢的热加工性能；

P 降低钢的冷脆性，避免焊接性能、塑性和冷弯性能恶化；

N 提高强度和低温韧性，提高时效敏感度；

Ni 提高强度和耐酸碱腐蚀性，保持塑性和韧性，保持高温防锈和耐热性；

Cr 提高强度、硬度、抗氧化、耐腐蚀性和耐磨性；

Mo 细化晶粒，提高渗透性和热强度，在高温下保持足够的强度和抗蠕变能力；

Cu 提高强度、大气腐蚀性能及韧性;

V 提高耐氢腐蚀性

由上述元素组成的配方可以更好地发挥材料的物理性能，更终达到预期的技术效果，杂质含量很低，真正实现超高纯净钢。

2.针对半导体制造装置的用途，降低对制造特性和制造过程中有害的元素含量：

C、N：碳化物和氮化物的形成是粉尘颗粒的原因。

Mn：焊接部分的耐腐蚀性会降低。

S：孔蚀的主要原因是非金属夹杂物的形成，降低了焊道的平滑度。

Al︰是形成非金属夹杂物的有害元素。

日本大同特种钢有限公司是悦廷特种合金的重要战略合作伙伴。作为大同在中国的现货库存代理，它代表其**产品：超纯钢CLEANSTAR】原料母材，CLEANSTAR主要用于半导体行业，是抗剧毒专用流体管道所必需的材料。A、B、C三种级别。

***的特长来自日本大同的制造方法:

CLEANSTAR A：真空感应熔炼法(VIM)、真空电弧重熔法(VAR)

CLEANSTAR B：真空电弧重熔法(VAR)、氩氧脱碳(AOD)

CLEANSTAR C：氩氧脱碳(AOD)

-VIM：VACUUM INDUCTION MELTING

-VAR：VACUUM ARC REMELTING

-AOD：ARGON-OXYGEN DECARBURISATION

*CLEANSTAR符合ASTM A276/A276M机械性能要求。

二次熔炼：VAR(真空电弧炉重熔)一次熔炼:VIM(真空感应炉熔炼)一次熔炼:EAF(电弧炉熔炼)

*非金属夹杂物(微组织实例):

*非金属夹杂物的数量和面积百分比：

良好的纯度顺序如下：

CLEANSTAR A > CLEANSTAR B > CLEANSTAR C > SUS316L(一般材)

尤其是重熔材料CLEANSTAR A 和 CLEANSTAR B纯度很高。

*腐蚀减量：

因此，CLEANSTAR 耐腐蚀性比 SUS316L(一般材料) **。

*晶间腐蚀试验：

试验方法：SEMI F20 (ASTM A262 PRACTICE E)

试片：固溶热处理 – 敏化处理( 677°C(1250°F )X1小时）- 晶间腐蚀试验

*点蚀试验：

因此，CLEANSTAR A耐点蚀性比CLEANSTAR B 和CLEANSTAR C优异。

*质量保证及测试程序：

*文件编制、包装和运输：

多年来，悦廷合金材料广泛应用于半导体、医疗、高纯流体管、集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等领域。

部分岳廷合作企业

作品：洪咏仪

校对:刘剑锋、崔浩、唐一

技术：Jacob

生产单位：悦廷特种合金

悦廷合金，专注“进口钢材，现货库存”

与世界八大知名钢厂建立合作关系，

中国有现货供应库，

欢迎来电咨询！

官方电话：400-017-2668

美国SMC

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